Der er tre hovedtyper af UV-lasere.
Diodepumpet solid state laser
Den første er en diodepumpet solid-state laser (DPSS) Nd: YAG Q-Switch, hvor duplikeringskrystaller bruges til at ændre den infrarøde bølgelængde på 1064 nm og skifte den til bølgelængden af den ultraviolette på 355 nm.
Strålens form er gaussisk, så stedet vil være rundt og med energiintensiteten gradvist aftagende fra midten og ud mod kanten. Strålen kan fokuseres på pletter i størrelsesordenen 10 µm.
I princippet er disse ultraviolette lasere, som alle faststoflasere, følsomme over for temperaturændringer.
Den høje gentagelseshastighed af operationen og det meget lille areal, de opererer på, gør disse lasere til de bedst egnede til mikrobearbejdning.
Excimer laser
Den anden type UV-laser er en gaslaser, excimer-laseren. Bølgelængden af denne laser afhænger af den anvendte type gasblanding og varierer fra 180 nm til over 300 nm.
Den genererede stråle er ikke rund, men har en rektangulær form med en mere eller mindre konstant intensitetsfordeling. Masker kan bruges til at generere specifikke pletgeometrier.
Metallisk damplaser
Den tredje type UV-laser er metaldamplaseren. Kobberdamplaseren er den hyppigst anvendte, selvom dampe af mange andre metaller også kan bruges.
Kobberdamplasere genererer stråling ved en bølgelængde på 511 nm og 578 nm. Strålens form er gaussisk, hvilket gør laseren velegnet til samme anvendelsesområde som den ultraviolette faststoflaser.